Установка ННВ-6.6
Установка ННВ-6.6
Установка предназначена для нанесения на изделие (инструмент) широкой гаммы многослойных, в том числе и композиционных покрытий на основе различных соединений тугоплавких металлов (нитриды, карбиды, карбонитриды, оксиды, бориды).
Установка предназначена для нанесения на изделие (инструмент) широкой гаммы многослойных, в том числе и композиционных покрытий на основе различных соединений тугоплавких металлов (нитриды, карбиды, карбонитриды, оксиды, бориды).
______________6._48366b289a0fa.jpg
Описание
Установка ННВ-6.6
Установка предназначена для нанесения на изделие (инструмент) широкой гаммы многослойных, в том числе и композиционных покрытий на основе различных соединений тугоплавких металлов (нитриды, карбиды, карбонитриды, оксиды, бориды).
Принцип действия установки основан на использовании метода парофизического осаждения материала на подложку в вакууме.
Основным узлом установки является электродуговой испаритель, в котором испарение материала с поверхности катода происходит благодаря высокой концентрации энергии электрической дуги в «катодном пятне». Достигаемые высокие температуры обеспечивают испарение самых тугоплавких материалов, включая вольфрам и графит.
Предварительная обработка (очистка, активирование, нагрев) поверхности изделия осуществляется в результате воздействия высокоэнергетических потоков ионов инертного газа и осаждаемого материала в тлеющем плазменном разряде, что создает условия для формирования высококачественного покрытия оптимальной структуры и с хорошей адгезией к поверхности.
В качестве материала катодов в электродуговых испарителях чаще всего используют титан. Возможно применение молибдена, вольфрама, циркония, хрома, ниобия, графита и других материалов. В качестве реакционного газа могут использоваться различные газы, в том числе азот.
Оригинальная конструкция систем магнитной фокусировки плазменного потока испарителя, плавного регулирования напряжения высоковольтного источника питания, а также высокоточного регулирования привода стола установки позволяет подобрать технологический режим формирования высококачественного покрытия при максимальной производительности.
Установка проста и удобна в эксплуатации. Особенно перспективна при нанесении износостойких покрытий на металлорежущий и штамповый инструмент, детали для экстремальных условий эксплуатации.
Технические характеристики установки ННВ-6,6-И1.
№
1 Предельное остаточное давление в рабочей камере, за время до 15 минут 6,65*10-3Па (5*10-5 мм.рт.ст.)
2 Рабочий вакуум От 5*10-3 до 5*10-4 мм.рт.ст.
3 Размеры рабочей камеры Диаметр 600+30
Высота 600+20мм
4 Количество дуговых испарителей 3
5 Максимальная загрузка, кг 110
6 Скорость осаждения покрытия (нитрида титана), мкм/час От 13 до 40
7 Максимальная однородность 20
8 Система газонапуска на базе РРГ-9
2 канала с электронным управлением
расход по каналу 1, л/час
расход по каналу 2, л/час
До 9?
До 36?
9 Ток дуговых испарителей, А До 300
10 Опорное напряжение, В
1-я ступень, В
2-я ступень, В
Ток, А
20-280
100-1500
20
11 Расход охлаждающей воды, куб.м./час Не более 2
12 Потребляемая мощность, кВт
13 Напряжение питающей сети, В
Количество фаз
Частота тока, Гц 380/220
3
50
14 Масса установки, Т 3+0,5
Структура условного обозначения
ННВ-6.6-И1:
Н - метод нагрева - ионный;
Н - основной конструктивный признак - камерная;
В - среда в рабочем пространстве - вакуум;
6 - диаметр рабочей камеры, дм;
6 - высота рабочей камеры, дм;
И1 - порядковый номер исполнения.
Условия эксплуатации
Высота над уровнем моря не более 1000 м.
Температура окружающего воздуха от 10 до 35°С.
Относительная влажность воздуха до 80 % при температуре 20°С и не более 50 % при температуре 35°С.
окружающая среда невзрывоопасна, не содержит агрессивные газы и пары в концентрациях, вредно действующих на металлы и изоляцию, а также токопроводящую пыль; атмосферное давление от 96,0 до 104,0 кПа (720 - 780 мм рт. ст.).
Технические характеристики
Напряжение питающей сети, В - 380+19/220+11
Число фаз - 3
Частота тока, Гц - 50
Скорость осаждения покрытия (нитрида титана), мкм/ч - от 13 до 40
Номинальный ток высоковольтного источника питания подложки, А - 20
Диапазон плавного регулирования величины напряжения высоковольтного источника питания подложки, В - от 100 до 1500
Диапазон плавного регулирования величины напряжения низковольтного источника питания подложки, В - от 20 до 280
Максимальная нагрузка на шпиндель, кг - 110
Максимально допустимая нагрузка на ось сателлита механизма вращения, кг - 10
Диапазон плавного регулирования частоты вращения стола (в обе стороны), мин-1 - от 0,5 до 12
Длительность цикла упрочнения инструмента, ч - от 2 до 2,5
Размеры рабочей камеры, мм: диаметр - 600+30
высота (длина) - 600-20
Количество электродов токоподводящих (испарителей) - 3
Остаточное давление в камере, Па (мм рт.ст.) - от 6,65•10-3 до 6,65•10-1 (от 5•10-5 до 5•10-3)
Расход охлаждающей воды, м3/ч, не более - 2
Масса установки, т - 3,0
Конструкция и принцип действия
Установка (рис. 1, 2) состоит из следующих основных узлов: корпус; дверца; электрод токоподводящий (электродуговой испаритель);
система водоохлаждения; вакуумная система; механизм вращения;
основание; электрическая часть.
Вид сверху установки ННВ-6.6-И1
1 - корпус;
2 - электрическая часть
Корпус имеет вид вертикального цилиндрического сосуда с боковым проемом, который закрывает дверца. Выполнен с двойными стенками, образующими полость водоохлаждения (или подогрева при откачке камеры). На боковых стенках корпуса установлены два токоподводящих электрода. Корпус с дверцей образует вакуумную камеру.
Дверца имеет двойные стенки, которые образуют полость водоохлаждения. На дверце установлен третий токоподводящий электрод, который может быть размещен и на верхней плоскости корпуса.
Электрод токоподводящий, представляющий собой электродуговой испаритель, состоит из корпуса и держателя, которые электрически изолированы друг от друга, и защитного кожуха.
Система водоохлаждения состоит из панели водораспределительной и трубопроводов. В панели предусмотрена воронка для визуального контроля протока воды, а также датчики сигнализаторов уровня. Расход воды регулируют вентили, установленные на коллекторе.
Вакуумная система обеспечивает создание в рабочей камере необходимого рабочего давления. Регулирование остаточного давления выполняется с помощью автоматического регулятора напуска рабочего газа.
Механизм вращения имеет электромеханический привод, состоящий из электродвигателя постоянного тока и редуктора, соединенных клиноременной передачей. Электродвигатель позволяет изменять число оборотов и направление вращения.
Основание предназначено для монтажа на нем камеры, вакуумной системы, системы водоохлаждения и подогрева. В тумбе основания расположен механизм вращения и блоки поджига дуги. Электродвигатель установлен на плите, которая крепится к тумбе основания.
Вакуумная система, панель водоохлаждения расположены на площадке основания. В площадке под съемным листом размещены провода цепей управления и силовые цепи.
Электрическая часть служит для электроснабжения установки и управления технологическим процессом. Электроснабжение производится от трехфазной сети напряжением 380 В, цепи управления питаются напряжением 220 В и частотой 50 Гц.
Высоковольтный источник питания, включающий в себя тиристорный преобразователь напряжения, высоковольтный трансформатор и выпрямитель, обеспечивает регулирование напряжения в пределах от 100 до 1500 В.
Источник опорного напряжения, включающий в себя тиристорный преобразователь (общий с высоковольтным источником), трансформатор и выпрямитель, обеспечивает регулирование напряжения от 20 до 280 В.
Для получения при нанесении покрытий нитридов металла в установке предусмотрена система напуска рабочего газа (азота). Система состоит из клапана с электромагнитным приводом, клапана напускного регулируемого (автоматического натекателя) и электронного блока управления.
В комплект поставки входят: установка в частично разобранном виде; комплекты запасных частей по ведомости ЗИП, эксплуатационной документации и эксплуатационной документации на покупное оборудование.
Установка предназначена для нанесения на изделие (инструмент) широкой гаммы многослойных, в том числе и композиционных покрытий на основе различных соединений тугоплавких металлов (нитриды, карбиды, карбонитриды, оксиды, бориды).
Принцип действия установки основан на использовании метода парофизического осаждения материала на подложку в вакууме.
Основным узлом установки является электродуговой испаритель, в котором испарение материала с поверхности катода происходит благодаря высокой концентрации энергии электрической дуги в «катодном пятне». Достигаемые высокие температуры обеспечивают испарение самых тугоплавких материалов, включая вольфрам и графит.
Предварительная обработка (очистка, активирование, нагрев) поверхности изделия осуществляется в результате воздействия высокоэнергетических потоков ионов инертного газа и осаждаемого материала в тлеющем плазменном разряде, что создает условия для формирования высококачественного покрытия оптимальной структуры и с хорошей адгезией к поверхности.
В качестве материала катодов в электродуговых испарителях чаще всего используют титан. Возможно применение молибдена, вольфрама, циркония, хрома, ниобия, графита и других материалов. В качестве реакционного газа могут использоваться различные газы, в том числе азот.
Оригинальная конструкция систем магнитной фокусировки плазменного потока испарителя, плавного регулирования напряжения высоковольтного источника питания, а также высокоточного регулирования привода стола установки позволяет подобрать технологический режим формирования высококачественного покрытия при максимальной производительности.
Установка проста и удобна в эксплуатации. Особенно перспективна при нанесении износостойких покрытий на металлорежущий и штамповый инструмент, детали для экстремальных условий эксплуатации.
Технические характеристики установки ННВ-6,6-И1.
№
1 Предельное остаточное давление в рабочей камере, за время до 15 минут 6,65*10-3Па (5*10-5 мм.рт.ст.)
2 Рабочий вакуум От 5*10-3 до 5*10-4 мм.рт.ст.
3 Размеры рабочей камеры Диаметр 600+30
Высота 600+20мм
4 Количество дуговых испарителей 3
5 Максимальная загрузка, кг 110
6 Скорость осаждения покрытия (нитрида титана), мкм/час От 13 до 40
7 Максимальная однородность 20
8 Система газонапуска на базе РРГ-9
2 канала с электронным управлением
расход по каналу 1, л/час
расход по каналу 2, л/час
До 9?
До 36?
9 Ток дуговых испарителей, А До 300
10 Опорное напряжение, В
1-я ступень, В
2-я ступень, В
Ток, А
20-280
100-1500
20
11 Расход охлаждающей воды, куб.м./час Не более 2
12 Потребляемая мощность, кВт
13 Напряжение питающей сети, В
Количество фаз
Частота тока, Гц 380/220
3
50
14 Масса установки, Т 3+0,5
Структура условного обозначения
ННВ-6.6-И1:
Н - метод нагрева - ионный;
Н - основной конструктивный признак - камерная;
В - среда в рабочем пространстве - вакуум;
6 - диаметр рабочей камеры, дм;
6 - высота рабочей камеры, дм;
И1 - порядковый номер исполнения.
Условия эксплуатации
Высота над уровнем моря не более 1000 м.
Температура окружающего воздуха от 10 до 35°С.
Относительная влажность воздуха до 80 % при температуре 20°С и не более 50 % при температуре 35°С.
окружающая среда невзрывоопасна, не содержит агрессивные газы и пары в концентрациях, вредно действующих на металлы и изоляцию, а также токопроводящую пыль; атмосферное давление от 96,0 до 104,0 кПа (720 - 780 мм рт. ст.).
Технические характеристики
Напряжение питающей сети, В - 380+19/220+11
Число фаз - 3
Частота тока, Гц - 50
Скорость осаждения покрытия (нитрида титана), мкм/ч - от 13 до 40
Номинальный ток высоковольтного источника питания подложки, А - 20
Диапазон плавного регулирования величины напряжения высоковольтного источника питания подложки, В - от 100 до 1500
Диапазон плавного регулирования величины напряжения низковольтного источника питания подложки, В - от 20 до 280
Максимальная нагрузка на шпиндель, кг - 110
Максимально допустимая нагрузка на ось сателлита механизма вращения, кг - 10
Диапазон плавного регулирования частоты вращения стола (в обе стороны), мин-1 - от 0,5 до 12
Длительность цикла упрочнения инструмента, ч - от 2 до 2,5
Размеры рабочей камеры, мм: диаметр - 600+30
высота (длина) - 600-20
Количество электродов токоподводящих (испарителей) - 3
Остаточное давление в камере, Па (мм рт.ст.) - от 6,65•10-3 до 6,65•10-1 (от 5•10-5 до 5•10-3)
Расход охлаждающей воды, м3/ч, не более - 2
Масса установки, т - 3,0
Конструкция и принцип действия
Установка (рис. 1, 2) состоит из следующих основных узлов: корпус; дверца; электрод токоподводящий (электродуговой испаритель);
система водоохлаждения; вакуумная система; механизм вращения;
основание; электрическая часть.
Вид сверху установки ННВ-6.6-И1
1 - корпус;
2 - электрическая часть
Корпус имеет вид вертикального цилиндрического сосуда с боковым проемом, который закрывает дверца. Выполнен с двойными стенками, образующими полость водоохлаждения (или подогрева при откачке камеры). На боковых стенках корпуса установлены два токоподводящих электрода. Корпус с дверцей образует вакуумную камеру.
Дверца имеет двойные стенки, которые образуют полость водоохлаждения. На дверце установлен третий токоподводящий электрод, который может быть размещен и на верхней плоскости корпуса.
Электрод токоподводящий, представляющий собой электродуговой испаритель, состоит из корпуса и держателя, которые электрически изолированы друг от друга, и защитного кожуха.
Система водоохлаждения состоит из панели водораспределительной и трубопроводов. В панели предусмотрена воронка для визуального контроля протока воды, а также датчики сигнализаторов уровня. Расход воды регулируют вентили, установленные на коллекторе.
Вакуумная система обеспечивает создание в рабочей камере необходимого рабочего давления. Регулирование остаточного давления выполняется с помощью автоматического регулятора напуска рабочего газа.
Механизм вращения имеет электромеханический привод, состоящий из электродвигателя постоянного тока и редуктора, соединенных клиноременной передачей. Электродвигатель позволяет изменять число оборотов и направление вращения.
Основание предназначено для монтажа на нем камеры, вакуумной системы, системы водоохлаждения и подогрева. В тумбе основания расположен механизм вращения и блоки поджига дуги. Электродвигатель установлен на плите, которая крепится к тумбе основания.
Вакуумная система, панель водоохлаждения расположены на площадке основания. В площадке под съемным листом размещены провода цепей управления и силовые цепи.
Электрическая часть служит для электроснабжения установки и управления технологическим процессом. Электроснабжение производится от трехфазной сети напряжением 380 В, цепи управления питаются напряжением 220 В и частотой 50 Гц.
Высоковольтный источник питания, включающий в себя тиристорный преобразователь напряжения, высоковольтный трансформатор и выпрямитель, обеспечивает регулирование напряжения в пределах от 100 до 1500 В.
Источник опорного напряжения, включающий в себя тиристорный преобразователь (общий с высоковольтным источником), трансформатор и выпрямитель, обеспечивает регулирование напряжения от 20 до 280 В.
Для получения при нанесении покрытий нитридов металла в установке предусмотрена система напуска рабочего газа (азота). Система состоит из клапана с электромагнитным приводом, клапана напускного регулируемого (автоматического натекателя) и электронного блока управления.
В комплект поставки входят: установка в частично разобранном виде; комплекты запасных частей по ведомости ЗИП, эксплуатационной документации и эксплуатационной документации на покупное оборудование.