Модернизированная система управления и питания для установок тип

Описание Модернизированная система управления и питания для установок типа Булат.

Основные параметры комплекта модернизации установки «Булат-6М»
1. Мощность, потребляемая установкой со шкафом Булат-6М
от питающей сети, не более ………………………………………….40 кВт.
2. Измеряемое форвакуумное давление
датчиком ПМТ6-3М, …………………..……5х10 3 - 1х10 –2 торр
3. Измеряемое давление
датчиком AIGX-S-NW25, ………… ….........5х10 -7 - 5х10 –2 торр
4. Устройство подачи газа РРГ-10.
максимальный расход подаваемого газа …………………………….9 л/ч.
5. Устройство питания дугового испарителя
(3 шт на базе «TRINON 220 DC» с устройствами зажигания разряда):
напряжение поджигающего импульса………………………..680 - 720 В
ток поджигающего импульса………………………………..200 – 220А
напряжение холостого хода источника питания дуги…………….90 В
ток дугового разряда……………………………………………75-120 А
6. Система питания ионного источника 1 шт:
рабочее напряжение до ….……………………………………. 3000 В
ток в нагрузке до ……………………………………………………1,0 А
7. Источник питания подложки 1шт
выходное напряжение …………………………………………..0-900 В
эффективное значение выходного тока
источника в непрерывном режиме …………………………….0-17 А