Вентиль дем 4.460.030
Клапан электромагнитный 3.393.124
Регулятор расхода газа Unit UFC-1560A бу 500sccm HF
Регулятор расхода газа Tylan 2950 бу
Регулятор давления РДМ-24
Блок управления (РРГ) БУИП-1М
Регулятор расхода газа Mykrolis DSTWN101DT00
Регулятор расхода газа Mykrolis DSLWN100
Регулятор расхода газа Sierra 810C-NR-13-V4-S4
Регулятор расхода газа Kinetics UFM-1100