Регулятор расхода газа Brooks 5850E
Блок управления натекателем БУЭН.
Блок управления (РРГ) БУИП-1М
Натекатель Carl Zeiss
КЛАПАН ЭЛЕКТРОПНЕВМАТИЧЕСКИЙ КЭТ-127-1,6
Катод для течеискателей ПТИ-10 и ТИ1-14
Переходник CF 100 на 40 мм
Крестовина ду40
Быстросъёмные хомуты с центрирующими и уплотняющими кольцами ду25
Вакуумные компоненты conflat CF