установка для плазмохимического удаления фоторезиста УПУФ-1

Габаритные размеры 600х1250х600 мм
-удаленный источник плазмы с ВЧ индукционной системой возбуждения плазмы
-мощность источника плазмы 600 Вт частота 13.56 МГц
-загрузка не менее 10 пластин 60х48 мм
-обработка пластин с двух сторон
-количество газовых линий с РРГ  -2 шт
-рабочие газы О2и N2
-вакуумная система на базе дух-ступенчатого мехнасоса типа типа E2M80.