Установка напыления ННВ-6.6М
Установка напыления ННВ-6.6М
Описание
Установка напыления ННВ-6.6М
В 2016 году нами разработана и изготовлена новая установка ионно-плазменного напыления ННВ-6.6М для замены морально устаревших установов типа ННВ-6.6, Булат-6 и Булат-3
Новая вакуумная камера, новые дуговые источники, новые блоки поджига, вакуумная система спроектирована на пневматическиъ клапанах и затворе, современные системы газонапуска и водоснабжения... Блок смещения потенциала на карусель.
Пилотная установка готова для демонстрации с 10 мая 2017 года
|
Размеры вакуумной камеры (мм) |
600*600*600 |
|
Количество дуговых испарителей |
3 |
|
Диаметр катода дугового испарителя,мм |
60 |
|
Количество газовых линий |
2 |
|
Вес загрузки, кг |
20-25 |
|
Потребляемая мощность, кВт |
15 |
|
Система управления - полуавтоматическая |
|